分子束外延设备_论文

发布时间:2021-08-03 22:59:06

第 2 卷 年 第 11 4 期 月 仪 C H I N E SE 器 仪 表 学 报 Vol N . 2 袍 4 1 9 81 J O U R N人 L O F S CI E N T I FI C I N S T R U M E N T o v。 1 9 8 1 分子束外 延 设备 分 子 束 外延 设 备研 制 组 ’ 分 子 束 外延 ( 简称 M BE ) 技 术 是 * 十 年来 基 于 真 空 蒸 发 技 术 发 展 起来 的 一 门 晶体 生 长 一` 。 新 技术 慢 , , 0 它是 在 超 高 真 空 ( 1 , 托 ) 条 件下 , , 控制 不 同束 流成 分 和 密度 的 分 子 束 。 , 打在 一 定 生 长 速率 。 温度 的单 晶 衬 底 上 按 化学 配 比 进 行 结 晶 外延 生 长 的 MB E 技术 具有 以 下特 点 4 50 ’ : 可 控 制在每 秒 零点 几 埃 至 每秒 十 几 埃 因 此 可 以 生长 几 埃 到几 十埃 厚 度 的 超薄 单 晶 膜 且 单 晶 表 面 *整 度 可 达 原 子 级 ; 单 晶生 长 时 衬底 温 度较 低 ( 一 般 在 散 较小 较容 易 M BE , ~ 600 C ) , O 因 而元 素 扩 使 生 长的 晶 体界 面 清晰 , 可 以 制 备不 同 元素 的多 层 薄膜 和 超 晶 格 结 构 , 控 制掺 杂 比 。 , 可 以 得 到 组 分 的 梯 度 剖面 , 可 装 多 种 表 面和 薄 膜分 析 仪 器 , 进 行 原 位 观测 、 因此 技术 已 成 为 晶 体生 长动力 学 。 表 面 物理 研 究 , 。 、 制 备半 导 体 器 件 、 发展 新 材 料 的 有力 实 , 验方法 我 们 研 制的 分 子 束 外 延 设 备 主 要性 能 指标 接 * 达 到 了 国 外 同 类 设 备水 * 四 极质谱 仪 为我 国在分 子 束 外延 技 术方 面 填 补 了 空 白 分 子 束 外 延 设 备 的组 成 和 总 体 配 置 以 及 主 要 性 能如下 1 . : 1 超 离真 空 系 统 ( O一 、 ` 。 托) 、 选 择 由分 子 筛 吸 附泵 磁 离 子 泵 ( 6 0 0 升 / 秒 ) 钦 升 华 泵 ( 了0 0 0 升 / 秒 液氮 温度 ) 组成 的 全无 油 超 叫 冲 · ’ J - _ , 曰 } 高真 空系统 。 为 提 高对 惰 性气 体 的 抽 速 , , 磁 离子 。 泵 采用 三 极 式 的 , 0 % 左右 对 氢气 的 抽 速可 达 3 ; { 为 延 长 升 华器 的 使 用 寿 命 而 采用 钦 球 升 华器 丝 加 热 加热 功 率 约 7 钨 犷 图 } 0 瓦左 右 , 钦 球重 量 约 6 0 图 1 磁离 子泵 泵 克 。 必450 二m 直 径 的 真 空 室 ; 在 真 空 室 内 安装 外 。 分 子 束 外延 设备 总 体配置 图 延 生 长 和分 析 用 的各 种仪 器 部 件 整机 用 三个 1 5 , . 分 子 束 源 的 卧式总 体 配 置见 图 1 。 公 斤 / 个 分 子 筛 吸 附 泵 维 持低 真 空 烘 烤 1 X , 15 0 ℃ , 4 小时 2 , 磁 离子 泵 和 升 6 x 华 泵工 作 3 6 小时 本 文于 1 9 8 0年 使 整 机 真 空 度达 。 0 1 一 , 托 , 继 续 工 作使 系 统 极 限 真 空度 达 0 1 一 , ’ 托 。 . 1 月 收到 , 第 4 期 , 分 子 束外 延 设备 的 研 制 由 于 整 个 系 统 比较 复 杂 材 料 的出 气 量 大 。 , 烘 烤温 度 又 不 能 太 高 ( 1 0 5 ℃) , 所 以 整机 的 极 限 真空 达 到 2 . 6 x 0 1 一` 。 托是 比 较 满 意 的 、 分子 束 源 分 子 束快 门 。 分 子 束 源 包 括分 子 束 炉 、 准直 板 和 液 氮屏 蔽 几 个 主 要 部 分 、 , 用 来产 生和 控 制 不 同成 分 的分 子 束 。 分 子 束 炉 选 用高 纯 石 墨 为 炉体材 料 束 源 快 门 采用 整 体 圆盘 形 快 门 利 用快 门 板 上 不 同 组 合的 孔 控 制 各 分 子 束 的 启 闭 或离 子 束 之 间 的相 互 影 响 。 。 电 加 热 钮 丝 * 行炉 体来 回 折 绕 减 少 杂 散 磁 场 。 , 藉 以 减小 电 子 束 多层 钮 箔做 热屏 蔽 以 减小 热辐 射 和 加热 功 率 12 00 士 0 ’ . 分 子 束 炉采 用 程 序 控 制升 温 、 恒温 和 降温 。 , 最 高炉 温 和 稳 定 度 可 达 S c , O 。 为 防 止 分 子 束 相 互 之 间 的 污 染 和 分 子 束 炉 之 间的 温 度 影 响 冷 却 两 层屏 蔽 . 整 个 分 子 束 源 有水 冷 和 液 氮 3 四 极 质 谱仪 、 进 行 真 空 室 内残 余气 体 分 析 和 分 子 束 成 分 四 极质 谱 仪 , 束 流 强 度 的测 量 2 50, 。 根 据这 台 15 0 , M BE 4 设 备 的 需 要 进 行 了 改 装 并加 了 液 氮 冷 阱 , 。 一 质 量 数 范 围 1~ 5 火 0 ~ 1 0 两档 分 辨 率分 别 为 0 3

相关文档

  • 分子外延束
  • 分子束外延技术
  • 分子束外延技术简介
  • ch2 分子束外延介绍
  • 猜你喜欢

  • 形容艰苦奋斗的词语
  • 作文教学应体现素质教育要求
  • 体坛英语新闻:Clijsters wins WTA Miami title
  • 克拉玛依市人民政府办公室关于成立克拉玛依市深化医药卫生体制改
  • 依兰县喜贵农机专业合作社企业信用报告-天眼查
  • 罗兰贝格某品牌有限公司战略业务规划
  • 成语对对子不足为奇
  • 2018-2019-小学教师读《鲁滨孙漂流记》有感word版本 (2页)
  • 日本城市运动的历史条件析论
  • 防震减灾科普知识中小学PPT
  • 2018年社区矫正个人工作总结2
  • 盐城市景山中学2016届九年级下期中考试数学试题(有答案)-(苏科版)
  • 珠海市电气产品经销商研究报告2018版
  • 【知识学习】第七课 关注经济发展 教案
  • 2015年对外经济贸易大学翻译硕士考研集训营真题状元笔记
  • 有没有动漫带耳机的男主
  • 基于层次分析法的石油企业人力资源评价研究
  • 大学语文社会调查报告活动记录卡
  • 2018-2019年邢台市沙河市蝉房乡石盆北街小学三年级上册科学模拟练习题无答案
  • 河南川流建筑工程有限公司企业信息报告-天眼查
  • 必修2第2章第1课时城市内部空间结构和不同等级城市的服务功能
  • 2019版高考地理一轮复习湘教版讲义:第10章 第6节 区域工业化与城市化进程以珠江三角洲为例 精品
  • 心理学经典书籍只是分享
  • 二年级写春天来了作文
  • 石油填方工程施工技术论文
  • 1480-简单-一维动态数组
  • 2017第2届IEEE大数据分析国际会议
  • 糖尿病胃转流手术是什么
  • 最新大学生个人简历word可编辑模板下载 (32)
  • 鼠和兔结婚了怎么办
  • 火锅店经典广告词
  • 电极-生物膜法反硝化脱氮的特点和研究进展
  • 脑卒中的症状识别及院前急救
  • 九年级家长会课件139
  • 最新整理国道主干线昆明绕城高速公路西南段.doc
  • 转型环境下的创业管理PPT课件
  • 小学六年级其他作文:观可可西里
  • 自定义实现HashMap(二)
  • 高职语文课程的现状及教学改革策略-教育文档
  • 最新-小学难忘的端午节作文400字 精品
  • 淘宝退运保险怎么用
  • SQL入门级资料
  • 电脑版